沈阳芯源微电子设备股份有限公司:用于前道晶圆制造的涂胶显影设

时间：2022-01-06 10:53:13

光刻机是制造芯片的核心装备，在半导体行业中占据重要地位。近年来，全球光刻机需求量持续上升，带动了包括光刻工序涂胶显影设备在内的光刻机配套设备需求量的拉升。沈阳芯源微电子设备股份有限公司（股票简称：芯源微，股票代码：688037）作为我国唯一一家能够提供中高端涂胶显影设备的企业，光刻机市场需求的旺盛引起的光刻机配套设备市场需求的增大，推动了公司快速发展。

芯源微（688037.SH）：用于前道晶圆制造的涂胶显影设备尚处于新进阶段，产品有发往上海华力、长江存储、中心绍兴、上海积塔等多个客户验证，有部分产品通过验证并获得订单。芯源微目前的主要产品为用于后道先进封装和LED制造等的涂胶显影设备，产品进入主流大客户。

芯源微（688037）：目前公司主要产品用于后道先进封装和LED制造等的涂胶显影设备，产品进入主流大客户，国内市占率约4%。用于前道晶圆制造的涂胶显影设备尚处于新进阶段，产品有发往上海华力、长江存储、中心绍兴、上海积塔等多个客户验证，有部分产品通过验证并获得订单。

21世纪经济报道记者还发现，与富创精密有着同一大股东的沈阳芯源微电子设备股份有限公司（简称“芯源微”，688037.SH）两年前已登陆科创板。此前的上市经验，或许成为富创精密加强招股书规范性原因之一。

中证网讯（记者宋维东）芯源微（688037）9月13日晚公告称，公司当日收到上交所出具的通知，上交所对公司报送的发行证券募集说明书及相关申请文件进行了核对，决定予以受理并依法进行审核。据悉，芯源微此次拟向特定对象发行不超过2520万股股份，募集资金总额不超过10亿元，扣除发行费用后拟用于上海临港研发及产业化项目、高端晶圆处理设备产业化项目（二期）和补充流动资金。

相关上市公司中，芯源微（688037）是国内唯一能提供中高端涂胶显影设备的企业，产品涵盖光刻工序涂胶显影设备/单片式湿法设备。晶盛机电（300316）基本实现8英寸晶片端长晶到加工的全覆盖，且已实现量产和批量出货，12英寸长晶设备、研磨和抛光设备已通过客户验证并实现销售。

现阶段，芯源微在光刻涂胶显影设备方面掌握了光刻工艺胶膜均匀涂敷技术、不规则晶圆表面喷涂技术、精细化显影技术、高产能设备架构及机械手优化调度技术、内部微环境精确控制技术等多项核心技术。凭借核心技术的优势，芯源微在市场中处于领先地位，并拥有较强的市场竞争力。

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